國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)成功研發(fā)

據(jù)北京商報(bào)報(bào)道，近日，北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司經(jīng)過(guò)多年探索，成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)，破解了國(guó)產(chǎn)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)自動(dòng)化難題。

據(jù)悉，晶圓倒片機(jī)是用來(lái)調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過(guò)制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序，這就要求晶圓倒片機(jī)擁有極高的傳送效率和潔凈程度。

目前，京儀裝備研發(fā)的首臺(tái)晶圓自動(dòng)翻轉(zhuǎn)倒片機(jī)已經(jīng)在上海集成電路研發(fā)中心得到成功應(yīng)用。早期型號(hào)倒片機(jī)則已經(jīng)在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等多家企業(yè)得到應(yīng)用。

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