南大光電毛智彪博士：ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化的機(jī)遇和挑戰(zhàn)

（CWW）11月1日至3日，第24屆中國(guó)集成電路制造年會(huì)暨供應(yīng)鏈創(chuàng)新發(fā)展論壇在廣州成功舉辦，寧波南大光電材料有限公司副總經(jīng)理毛智彪博士在會(huì)上發(fā)表以《ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化的機(jī)遇和挑戰(zhàn)》為主題的演講。

毛智彪博士表示，從國(guó)內(nèi)IC光刻膠供應(yīng)現(xiàn)狀來(lái)看，國(guó)內(nèi)IC光刻膠基本依賴從日本和美國(guó)進(jìn)口，而美國(guó)對(duì)中國(guó)的貿(mào)易限制和日本光刻膠企業(yè)產(chǎn)能短缺對(duì)國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)產(chǎn)生了較大影響，這導(dǎo)致國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)亟需穩(wěn)定的光刻膠供應(yīng)。

當(dāng)前，國(guó)外光刻膠供應(yīng)不穩(wěn)定問(wèn)題極大地帶動(dòng)了光刻膠國(guó)產(chǎn)替代的需求。同時(shí)，伴隨著汽車電子和5G等新應(yīng)用持續(xù)擴(kuò)大，國(guó)內(nèi)IC光刻膠市場(chǎng)需求進(jìn)一步增長(zhǎng)。

值得注意的是，毛智彪博士指出，國(guó)產(chǎn)IC光刻膠還面臨著四大挑戰(zhàn)：

一是本土人才缺乏，需要引進(jìn)人才和自主培養(yǎng)人才。

二是光刻膠產(chǎn)品檢測(cè)驗(yàn)證成本高昂，國(guó)內(nèi)缺少必須的檢測(cè)驗(yàn)證能力。

三是國(guó)產(chǎn)替代的現(xiàn)實(shí)決定了現(xiàn)階段國(guó)產(chǎn)光刻膠產(chǎn)品的客制化特性。

四是國(guó)內(nèi)缺少光刻膠材料產(chǎn)業(yè)鏈，缺少對(duì)光刻膠原材料的研發(fā)。

據(jù)毛智彪博士介紹，光刻膠的原材料主要包括溶劑、成膜樹(shù)脂、光致酸劑、抑制劑，其中最難做的材料就是成膜樹(shù)脂，不但要用于成膜，而且決定了光刻膠產(chǎn)品的光刻性能和刻蝕性能。而樹(shù)脂是高分子材料，需要對(duì)納米級(jí)材料的控制，對(duì)微觀領(lǐng)域有深刻的理解才能做到光刻膠的材料。

毛智彪博士指出，國(guó)產(chǎn)光刻膠需要建立起從原材料到光刻膠產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)鏈，并且持續(xù)投入對(duì)原材料的研發(fā)，才能支撐起長(zhǎng)久健康的發(fā)展。

目前，寧波南大光電已初步開(kāi)發(fā)成功ArF光刻膠產(chǎn)品體系，建成了光刻膠生產(chǎn)和檢測(cè)基地，培養(yǎng)了一支基礎(chǔ)的人才隊(duì)伍。毛智彪博士表示，作為光刻膠領(lǐng)域的后起之秀，南大光電仍然面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)，還有很長(zhǎng)的上山路需要攀登，需要更多的優(yōu)秀人才加入我們的團(tuán)隊(duì)，共同打造國(guó)產(chǎn)光刻膠的未來(lái)。

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